Переход на 450-миллиметровые пластины в полупроводниковом производстве пока протекает не слишком быстро. Но контролировать качество таких пластин можно будет уже сейчас. Компания
вовремя подсуетилась и выпустила систему контроля качества подложек Alta Sight Dark View. Перед началом использования пластины-подложки прогоняют через эту систему в поисках явных и скрытых дефектов. Система использует подсветку на разных длинах волн и рассеянный лазерный луч.
Подобное оборудование позволяет провести сразу несколько тестов пластин диаметром от 100 до 450 мм со всех сторон. Компания-производитель утверждает, что ее система обнаруживает 100% дефектов и все за один проход.
Минимальный размер обнаруживаемого дефекта — всего лишь 50 нм, а пропускная способность — 100 подложек в час. Заказчики уже могут выстраиваться в очередь за новой системой, в январе 2012 года ее начнут отгружать.